エフコン マスフローコントローラー 200SCCM-N2 1個 3-5068-02(直送品)
¥108,680(税込)
/¥98,800(税抜き)
お申込番号:H890563 /メーカー:エフコン /型番:3-5068-02 /JANコード:4589645250224 /アズワン/ナビス品番:3-5068-02
商品詳細
- 外部リークレート
- 1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
- 動作圧力範囲
- 50~300kPa
- サイズ
- 127×25.5×100mm
- 電源
- +15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
- 再現性
- ±0.2%FS
※こちらの商品は沖縄県・離島・その他一部地域・山間部で配送追加料金が発生します。地域等によっては、お届けできない場合もございますのでご了承ください。ご注文後、お届け不可の場合は、アスクルよりご連絡させて頂きます。
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商品詳細
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お客様のご都合による返品はお受けできません。
直送品
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商品の特徴 | ●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。●スタート時のフローサージ現象を抑制します。 | ||
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メーカー名 | エフコン | 外部リークレート | 1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 |
動作圧力範囲 | 50~300kPa | サイズ | 127×25.5×100mm |
電源 | +15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA | 再現性 | ±0.2%FS |
バルブ形式 | N/Oノーマルオープン | フルスケール流量-ガス種 | 200SCCM-N2 |
応答性 | 6sec | 接ガス部材質 | SUS316、PTFE、フッ素ゴム |
接続 | 1/4in.SWL相当 | 耐圧 | 1MPa(G) |
通信方式 | アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) | 入出力 | アナログ信号(0~5VDC) |
流量精度 | ±2%FS(精度保証範囲15~35℃) | ガス種類 | N2 |
流量制御範囲 | 5~100%FS | ||
備考 | 【返品について】お客様のご都合による返品はお受けできません。 | ||
商品詳細情報 | メーカーサイトはこちら。 |
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他のバリエーション
( 「型番」 「接ガス部材質」 「応答性」 「販売単位」違いで全 47 商品あります)
商品情報 | 販売単位 | 型番 | 接ガス部材質 | 応答性 | 外部リークレート | 価格 |
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1個 | PA01PS |
¥75,553 (税込) |
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1個 | PA01S |
¥75,554 (税込) |
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1個 | SUS316、PTFE、フッ素ゴム | 6sec | 1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 |
¥108,680 (税込) |