カバーキャップSCAPとカバーキャップ用ボルトSNCPSを組み合わせて使用してください。真空チャンバー内の処理ガスやプラズマからボルト頭部の腐蝕を防止します。SCAPはアルミ合金製とセラミック製を標準化。SCAP-ALアルミ合金製SCAP-CEセラミック製ねじ締結部はステンレス製のため、アルミやセラミックのねじと比べて高い締めつけ力が得られます。クリーン洗浄・クリーン梱包済み。