アズワン 配管部品 ガス マスフローコントローラー
熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。スタート時のフローサージ現象を抑制します（30秒以上のインターバルが必要）。
￥125,400 ~ ￥144,210 （税込）
| 流体 | 気体 | 通信方式 | アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) |
|---|---|---|---|
| 流量精度 | ±2％FS(精度保証範囲15～35℃) | 表面処理 | 機械加工仕上げ |
| 流量制御範囲 | 5～100％FS | バルブ形式 | N/O ノーマルオープン |
| 外部リークレート | 1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 | 入出力 | アナログ信号(0～5VDC) |
| 駆動電源 | +15VDC±5％ 60mA、-15VDC±5％ 150mA | 継手 | 1/4in.SWL相当 |
| 応答性 | 6sec | 動作圧力範囲 | 50～300kPa |
| サイズ | 160×33.6×105mm | 耐圧 | 1MPa(G) |
| 接ガス部材質 | SUS316・PTFE・フッ素ゴム | 使用可能温度 | 5～50℃ 85％RH以下 |
| 再現性 | ±0.2％FS | ||
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