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アルバック 電離真空計 ST200-A&ISG1
￥296,257 ~ ￥442,035 （税込）
| フィラメント寿命お知らせ機能 | フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能 | SAU（NW16） | 大気圧センサ（0.5mケーブル付き） |
|---|---|---|---|
| 外寸法 | ST200+測定子／69×63×120mm、ISG1／48×70×96mm、SWU10-R+測定子／φ40×81mm、SAU+測定子／φ30×67.5mm | 使用温度範囲 | ST200-A（10～50℃） |
| ラインアップの充実 | アナログ出力仕様（ST200-A）、シリアル通信仕様（ST200-R）に加え、EtherCAT仕様（ST200-E）を追加予定 | 電源電圧 | DC20～28V（リップル、ノイズ1％以下）8W以下 |
| 異なる測定範囲の測定子が接続可能 | マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能。 | ユーザビリティ向上 | PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能 |
| 測定値出力 | 出力電圧 DC 0～10V LOG出力 0.75V/1桁 | 測定精度 | 1.0×10^-4～3.0×10+0Pa：±10％（ST200-A単体モード）、1.0×10^-4～1.0×10+4Pa：±10％ 1.0×10^4～1.0×10^5Pa：±20％（ST200-A+SWU10-Rコンビネーションモード）、1.0×10^-4～1.0×10^4Pa：±10％ 1.0×10^4～3.0×10^5Pa：±3％F.S.（3.0×10^3Pa・基準温度25℃）（ST200-A+SWU10-R+SAUコンビネーションモード） |
| 正確な大気圧測定 | チャンバーオープンのための大気圧確認が可能（オプションユニットSAU接続時） | ★入数 | 1個 |
| ISG1 | 表示器 | 広範囲の圧力測定 | 大気圧から高真空領域（1×10+5～1×10-5Pa）の測定が可能（オプションユニットSWU10-R接続時） |
| SWU10-R | ピラニ真空計（0.5mケーブル付き） | SWP-16（NW16） | ピラニ測定子 |
| ディスプレイケーブル | 5m（表示器・本体間ケーブル） | コンパクト | 従来品より大幅な小型化を達成（コントローラ容積56％削減）、世界最小クラス |
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直送品
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