作業者はクリーンウェアに着替えた後、エアシャワーで埃を取り除いてから入室します。室内は常に陽圧（空間内の気圧が外部よりも高い状態）に保たれ、出入口・排出口からの空気流入を防ぎます。材料や機器を持ち込む際は、洗浄後にパスボックスを使用します。

また、人の出入りもエアシャワーを通して行い、漏れを最小限に抑えるよう注意が必要です。室内の圧力を常に管理することで、清潔な環境を維持しています。

無駄な発塵を防ぐためには、無塵衣、防塵衣、クリーンウェアなどの着用が必要です。また、塵埃の発生源となりやすい材料や備品の使用を控えるのも大切です。

さらに、作業場の状況を常に確認し、天井や壁のヒビや剥がれに注意を払いましょう。余計な動作を控え、余計な物を持ち込まないことも発塵を抑制する対策となります。

掃除しやすいレイアウトは、埃や汚れが溜まりにくくする対策として有効です。物を直置きせず、設備と壁の間に隙間を作ることで清掃に苦がなく清潔に保てます。

床や壁は強度があって平滑な素材を選び、入隅部分はラウンド構造にしましょう。また、ダクトや配管の露出を減らし、帯電や除電対策も必要です。掃除のマニュアルは定期的に見直し、基準に基づいた掃除を心がけましょう。

クリーンルーム内の換気回数を増やし、気流が滞らないようにすることが重要です。特に、発塵部付近での排気や気流の調整が必要です。

クリーンルームでは、換気回数を多くし、発塵している場所で排気することで、清浄な状態に近づけられます。また、気流が一方向に流れるよう配置し、空気の滞留を防ぎます。必要に応じて、局所排気装置の設置や専門業者への相談を検討しましょう。

高いレベルの清浄度を必要とする環境では、一方向流方式が採用されます。一方向流方式は、天井や壁面に高性能フィルタを配置し、空気を直線的に流すことが可能です。クリーンルームの清浄度を示す基準については後述しますが、一方向流方式はクラス5以上を維持できます。

この方式は、微粒子の滞留を防ぎ、常にクリーンな状態を保てる点がメリットです。対して、導入コストや運用時のエネルギー消費が大きいこと、また、設備の拡張やレイアウト変更が容易ではないことがデメリットです。

非一方向流方式は、天井や壁に設置された高性能フィルタと、別の場所に配置された排気口によって、室内の微粒子を均一に分散させる方式です。作業エリアの配置に柔軟性がある点はメリットですが、清浄度は一方向流方式に劣り、クラス6～8程度となります。

運用コストは低いものの、気流の滞留や渦が発生しやすく、汚染リスクが高まる可能性があるため、設置目的に合わせた適切なクリーンルームの選定が重要です。

工業製品の製造工程で使用されるインダストリアルクリーンルームは、空気中に浮遊する微小粒子を制御するために高性能フィルタを採用しています。半導体や液晶、精密機器の製造に利用されるのが主です。

具体的には、シリコンウェーハ、フォトマスク、ハードディスク、プリント基板など、幅広い分野で必要不可欠です。また、宇宙開発研究にも活用されています。

空気中の浮遊微生物を厳密に管理するためのバイオロジカルクリーンルームは、主にバイオテクノロジー分野で利用されます。医薬品製造や病院、食品工場などでの汚染防止に欠かせない施設であり、空気清浄度と微生物学的清浄度の維持が求められます。

細菌、真菌、ウイルスを含む汚染物質を制御し、厳しい基準を満たすことで、医薬品や食品、化粧品、遺伝子研究など、幅広い分野で活用されているのが特徴です。

アメリカのFED規格は、清浄度を示す基準として、日本でも長年使われてきました。この規格では、約28.3リットル（1立方フィート）の空気中に浮遊する0.5μmを超える粒子の数でクラス分けされます。

具体例として、0.5μmの粒子が100個以下ならクラス100、10,000個以下ならクラス10,000です。この規格は1963年に制定されてから、1988年と1992年に改定されましたが、2001年にISO規格へ統合され、現在は廃止されています。

ISO規格は、1999年に国際的な統一基準として制定されました。この規格では、1立方メートルあたりに含まれる0.1μm以上の粒子の数で分類されるのが特徴です。同様の方法がJIS規格にも採用されており、クラス1からクラス8に分けられます。

ISO規格では、粒子数を指数で表す仕組みになっており、日本でもISO規格への移行が進んでいます。

以下の表は、ISOクラスとFEDクラス、それに対応する許容粒子濃度（個/㎥）を粒径ごとに示したものです。クラスごとに、指定された粒径以上の粒子濃度の上限値が示されています。

参照：NCC「クリーンルームのクラス/清浄度とは？規格や管理方法を解説」

ファンフィルタユニット（FFU）により外気を導入し、室内に清浄な空気を供給する方式です。全ての空気が入れ替わることから、危険物の取り扱いや臭気の発生する作業に適しています。

特に有機溶剤などが発生する環境で効果的ですが、フィルタ交換の頻度が高くなる点に注意が必要です。

空調機を使用し、室内の空気を循環させてFFUに給気する方式です。一度温調されたクリーンエアを再利用することで、省エネ効果に優れ、フィルタの交換頻度も低く抑えられます。ただし、扉の開閉時には室内への粉塵の侵入が影響することもあります。

繊維くずは軽くて飛散しやすく、静電気を帯びやすいため、清掃時に取り除くのが困難です。主に衣類に使われる化繊などの短く細い繊維で、クリーンルーム内で完全に除去するのはほぼ不可能です。また、生産材にも多く含まれており、異物として混入しやすい特性があります。

金属片は工場内でよく見られる異物で、清掃によって簡単に取り除けますが、製品に付着すると硬さが原因で微小な傷をつけたり、導通に影響を与えたりする可能性があります。製品の性能に悪影響を及ぼす恐れがあるため、注意が必要です。

特にクリーンルームでは発塵の完全な防止が難しく、維持管理が重要です。AIやロボットの導入が進んでも、クリーンな環境を保つための課題は依然として残っています。

上記以外にも、クリーンルームでは業界ごとに異なる異物が存在します。食品・製薬業界では毛髪、虫、塩ビといった装置に起因する異物が多く、塗装・表面処理業界では、塗装カスやコンベアカスがよく見られます。

これらの異物は清浄度に深刻な影響を及ぼすため、発生源の特定や除去、徹底した清掃が欠かせません。また、電子部品や医療機器、フィルム業界などでも特定の異物混入が問題となっており、各業界での適切な対策が求められます。