AWシリーズは、半導体製造装置の開発・プロセス条件出しや温度分布計測に必要不可欠な”熱電対付きシリコンウェーハ”です。シリコンウェーハを用いた半導体製造工程でのレジスト装置内のステージ温度測定等。100～200℃における許容差（℃）：±5.0。