ステージ 80×80mmの売れ筋比較
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| 商品名 |
シグマ光機 XY軸アルミクロスローラステージ サイズ80×80mm TAMー802CDM 1個 61-6971-21（直送品） |
シグマ光機 Z軸アルミクロスローラステージ(垂直) サイズ80×80mm TAMー803LFP 1個 61-6974-13（直送品） |
シグマ光機 X軸アルミクロスローラステージ サイズ80×80mm TAMー801CFP 1個 61-6971-08（直送品） |
シグマ光機 X軸アルミクロスローラステージ サイズ80×80mm TAMー801CDM 1個 61-6971-09（直送品） |
シグマ光機 X軸アルミクロスローラステージ サイズ80×80mm TAMー801SDM 1個 61-6971-12（直送品） |
シグマ光機 Z軸アルミクロスローラステージ(垂直) サイズ80×80mm TAMー803L 1個 61-6974-12（直送品） |
シグマ光機 X軸アルミクロスローラステージ サイズ80×80mm TAMー801SWP 1個 61-6971-13（直送品） |
シグマ光機 X軸アルミクロスローラステージ サイズ80×80mm TAMー801SR 1個 61-6971-07（直送品） |
シグマ光機 XYZ軸フラットスチールステージ サイズ80×80mm TSDー805SR 1個 61-6976-52（直送品） |
シグマ光機 Z軸フラットスチールステージ サイズ80×80mm TSDー803FP 1個 61-6972-87（直送品） |
シグマ光機 XZ軸アルミクロスローラステージ(垂直) サイズ80×80mm TAMー804CL 1個 61-6975-94（直送品） |
シグマ光機 XZ軸アルミクロスローラステージ(垂直) サイズ80×80mm TAMー804SLFP 1個 61-6975-97（直送品） |
シグマ光機 XZ軸アルミクロスローラステージ(垂直) サイズ80×80mm TAMー804CLFP 1個 61-6975-96（直送品） |
シグマ光機 XZ軸アルミクロスローラステージ(垂直) サイズ80×80mm TAMー804SL 1個 61-6975-95（直送品） |
シグマ光機 XYZ軸アルミクロスローラステージ(垂直) サイズ60×60mm TAMー605SRLFP 1個 61-6977-25（直送品） |
シグマ光機 XYZ軸アルミクロスローラステージ(垂直) サイズ60×60mm TAMー605SL 1個 61-6977-21（直送品） |
シグマ光機 XYZ軸アルミクロスローラステージ(垂直) サイズ40×40mm TAMー405SRL 1個 61-6977-10（直送品） |
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| 価格（税込） |
￥118,580 （税込） |
￥142,890 （税込） |
￥49,830 （税込） |
￥39,380 （税込） |
￥72,380 （税込） |
￥72,380 （税込） |
￥53,130 （税込） |
￥59,180 （税込） |
￥41,800 （税込） |
￥161,920 （税込） |
￥67,540 （税込） |
￥70,840 （税込） |
￥94,930 （税込） |
￥88,330 （税込） |
￥88,330 （税込） |
￥94,930 （税込） |
￥107,800 （税込） |
￥117,700 （税込） |
￥103,730 （税込） |
￥1,056,000 （税込） |
| メーカー | シグマ光機 | シグマ光機 | シグマ光機 | シグマ光機 | シグマ光機 | シグマ光機 | シグマ光機 | シグマ光機 | シグマ光機 | シグマ光機 | シグマ光機 | シグマ光機 | シグマ光機 | シグマ光機 | シグマ光機 | シグマ光機 | シグマ光機 | シグマ光機 | シグマ光機 | シグマ光機 |
| 商品仕様1 | ●ボールネジとボールガイドを採用した、高精度・耐久性に優れた自動直動ステージです。●ボールネジを採用したことで、従来のTSDMシリーズより耐久性を向上しました。●＜＜ハイパフォーマンスステージ＞共通仕様＞●▼モータタイプ:5相ステッピングモータ 0.75A/相(オリエンタルモータ(株))●▼モータ品番:PK523HPB-C12(□28mm)●▼モータステップ角度:0.72°●▼センサ電源電圧:DC5V～+24V±10％●▼センサ消費電力:60mA以下(1センサあたり20mA以下)●▼センサ制御出力:NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下、残留電圧0.4V以下(負荷電流16mA時) 残留電圧0.7V以下(負荷電流50mA時)●▼センサ出力論理:遮光時 : 出力トランジスタOFF(非導通) : リミットセンサ、遮光時 : 出力トランジスタON(導通) : 原点センサ●▼適応ドライバ:SG-5M、SG-5MA、SG-55M、SG-55MA、SG-514MSC、MC-7514PCL●▼適応コントローラ:GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04●＜個別仕様＞●▼移動量:50mm●▼テーブル面サイズ:80×80mm●▼送りネジ:ボールネジ径φ6mm、リード1mm●▼移動ガイド:ボールガイド●▼ステージ材質:アルミ●▼表面処理:黒アルマイト●▼質量:1.0kg●▼分解能(Full):2μm/パルス●▼分解能(Half):1μm/パルス●▼MAXスピード:10mm/sec●▼位置決め精度:25μm●▼繰返し位置決め精度:±2μm●▼耐荷重:73.5N(7.5kgf)●▼モーメント剛性/ピッチング:0.5″/N・cm●▼モーメント剛性/ヨーイング:0.5″●▼モーメント剛性/ローリング:0.2″●▼ロストモーション:2μm●▼バックラッシ:2μm●▼平行度:40μm●▼走り平行度:10μm●▼ピッチング:30″●▼ヨーイング:25″●▼センサ品番:マイクロフォトセンサ:GP1S097HCZ(シャープ株式会社)●▼リミットセンサ:有(NORMAL CLOSE)●▼原点センサ:有(NORMAL OPEN)●▼近接原点センサ:無●CE適合品●RoHS適合品 | ●アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。●品番末尾にFPがついている製品は、ファインピッチスクリューを使用しています。●一般的なマイクロメータヘッドではありませんので、ご注意ください。●ネジピッチ0.25mmで操作する際には、六角レンチまたは別売のツマミ付六角レンチ(KCL)が必要となります。●※マイクロメータヘッドを固定している部品やマイクロメータヘッドの種類によりステージ上面から突出している場合があります。●※ステージに取り付ける試料の形状により、固定できない場合や移動量が確保できない場合がありますのでご注意ください。●＜＜XY軸アルミクロスローラステージ ステージサイズ□80mm＞共通仕様＞●▼テーブル面サイズ:80×80mm●▼移動量:±7.5mm(但しSDM、SWPは±6.5mm)●▼移動ガイド:クロスローラ●▼主要材質:アルミ●▼表面処理:黒アルマイト●▼耐荷重:392N(40.0kgf)●▼移動精度/真直度:2μm●▼移動精度/ピッチング:25″●▼移動精度/ヨーイング:15″●▼許容モーメント荷重/ピッチング:12.3N・m●▼許容モーメント荷重/ローリング:12.3N・m●▼許容モーメント荷重/ヨーイング:14.7N・m●▼モーメント剛性/ピッチング:0.23″/N・cm●▼モーメント剛性/ローリング:0.23″/N・cm●▼モーメント剛性/ヨーイング:-●▼平行度:50μm●▼移動平行度:20μm●▼直交度:10μm●＜個別仕様＞●▼マイクロ操作位置:センター●▼移動量/1回転:粗動:0.5mm 微動:0.025mm●▼マイクロメータ最小読取:粗動:0.01mm 微動:0.0005mm●▼質量:0.97kg●RoHS適合品 | ●ステージ本体とZ軸ブラケットを一体化した軽量なZ軸アルミステージです。●移動ガイドにクロスローラを使用しているため、滑らかな移動が得られます。●一般的なマイクロメータヘッドではありませんので、ご注意ください。●ネジピッチ0.25mmで操作する際には、六角レンチまたは別売のツマミ付六角レンチ(KCL)が必要となります。●＜＜Z軸アルミクロスローラステージ(垂直) ステージサイズ□40mm＞共通仕様＞●▼テーブル面サイズ:80×80mm●▼移動ガイド:ボールガイド●▼主要材質:鉄●▼表面処理:スーパーブラッククロム●▼耐荷重:49N(5.0kgf)●▼移動精度/真直度:2μm●▼許容モーメント荷重/ピッチング:7.0N・m●▼許容モーメント荷重/ローリング:7.0N・m●▼モーメント剛性/ピッチング:0.12″/N・cm●▼移動平行度:20μm●▼直角度:30μm●＜個別仕様＞●▼移動量/1回転:0.25mm●▼マイクロメータ最小読取:-●▼質量:0.6kg●RoHS適合品 | ●アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。●品番末尾にFPがついている製品は、ファインピッチスクリューを使用しています。●一般的なマイクロメータヘッドではありませんので、ご注意ください。●ネジピッチ0.25mmで操作する際には、六角レンチまたは別売のツマミ付六角レンチ(KCL)が必要となります。●※マイクロメータヘッドを固定している部品やマイクロメータヘッドの種類によりステージ上面から突出している場合があります。●※ステージに取り付ける試料の形状により、固定できない場合や移動量が確保できない場合がありますのでご注意ください。●＜＜X軸アルミクロスローラステージ ステージサイズ□80mm＞共通仕様＞●▼テーブル面サイズ:80×80mm●▼移動量:±7.5mm(但しSDM、SWPは±6.5mm)●▼移動ガイド:クロスローラ●▼主要材質:アルミ●▼表面処理:黒アルマイト●▼耐荷重:392N(40.0kgf)●▼移動精度/真直度:2μm●▼移動精度/ピッチング:25″●▼移動精度/ヨーイング:15″●▼許容モーメント荷重/ピッチング:12.3N・m●▼許容モーメント荷重/ローリング:15.7N・m●▼許容モーメント荷重/ヨーイング:14.7N・m●▼モーメント剛性/ピッチング:0.12″/N・cm●▼モーメント剛性/ローリング:0.1″/N・cm●▼モーメント剛性/ヨーイング:-●▼平行度:30μm●▼移動平行度:10μm●＜個別仕様＞●▼マイクロ操作位置:センター●▼移動量/1回転:0.25mm●▼マイクロメータ最小読取:-●▼質量:0.6kg●RoHS適合品 | ●アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。●品番末尾にFPがついている製品は、ファインピッチスクリューを使用しています。●一般的なマイクロメータヘッドではありませんので、ご注意ください。●ネジピッチ0.25mmで操作する際には、六角レンチまたは別売のツマミ付六角レンチ(KCL)が必要となります。●※マイクロメータヘッドを固定している部品やマイクロメータヘッドの種類によりステージ上面から突出している場合があります。●※ステージに取り付ける試料の形状により、固定できない場合や移動量が確保できない場合がありますのでご注意ください。●＜＜X軸アルミクロスローラステージ ステージサイズ□80mm＞共通仕様＞●▼テーブル面サイズ:80×80mm●▼移動量:±7.5mm(但しSDM、SWPは±6.5mm)●▼移動ガイド:クロスローラ●▼主要材質:アルミ●▼表面処理:黒アルマイト●▼耐荷重:392N(40.0kgf)●▼移動精度/真直度:2μm●▼移動精度/ピッチング:25″●▼移動精度/ヨーイング:15″●▼許容モーメント荷重/ピッチング:12.3N・m●▼許容モーメント荷重/ローリング:15.7N・m●▼許容モーメント荷重/ヨーイング:14.7N・m●▼モーメント剛性/ピッチング:0.12″/N・cm●▼モーメント剛性/ローリング:0.1″/N・cm●▼モーメント剛性/ヨーイング:-●▼平行度:30μm●▼移動平行度:10μm●＜個別仕様＞●▼マイクロ操作位置:センター●▼移動量/1回転:粗動:0.5mm 微動:0.025mm●▼マイクロメータ最小読取:粗動:0.01mm 微動:0.0005mm●▼質量:0.64kg●RoHS適合品 | ●アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。●品番末尾にFPがついている製品は、ファインピッチスクリューを使用しています。●一般的なマイクロメータヘッドではありませんので、ご注意ください。●ネジピッチ0.25mmで操作する際には、六角レンチまたは別売のツマミ付六角レンチ(KCL)が必要となります。●※マイクロメータヘッドを固定している部品やマイクロメータヘッドの種類によりステージ上面から突出している場合があります。●※ステージに取り付ける試料の形状により、固定できない場合や移動量が確保できない場合がありますのでご注意ください。●＜＜X軸アルミクロスローラステージ ステージサイズ□80mm＞共通仕様＞●▼テーブル面サイズ:80×80mm●▼移動量:±7.5mm(但しSDM、SWPは±6.5mm)●▼移動ガイド:クロスローラ●▼主要材質:アルミ●▼表面処理:黒アルマイト●▼耐荷重:392N(40.0kgf)●▼移動精度/真直度:2μm●▼移動精度/ピッチング:25″●▼移動精度/ヨーイング:15″●▼許容モーメント荷重/ピッチング:12.3N・m●▼許容モーメント荷重/ローリング:15.7N・m●▼許容モーメント荷重/ヨーイング:14.7N・m●▼モーメント剛性/ピッチング:0.12″/N・cm●▼モーメント剛性/ローリング:0.1″/N・cm●▼モーメント剛性/ヨーイング:-●▼平行度:30μm●▼移動平行度:10μm●＜個別仕様＞●▼マイクロ操作位置:サイド●▼移動量/1回転:粗動:0.5mm 微動:0.025mm●▼マイクロメータ最小読取:粗動:0.01mm 微動:0.0005mm●▼質量:0.64kg●RoHS適合品 | ●ステージ本体とZ軸ブラケットを一体化した軽量なZ軸アルミステージです。●移動ガイドにクロスローラを使用しているため、滑らかな移動が得られます。●一般的なマイクロメータヘッドではありませんので、ご注意ください。●ネジピッチ0.25mmで操作する際には、六角レンチまたは別売のツマミ付六角レンチ(KCL)が必要となります。●＜＜Z軸アルミクロスローラステージ(垂直) ステージサイズ□40mm＞共通仕様＞●▼テーブル面サイズ:80×80mm●▼移動ガイド:ボールガイド●▼主要材質:鉄●▼表面処理:スーパーブラッククロム●▼耐荷重:49N(5.0kgf)●▼移動精度/真直度:2μm●▼許容モーメント荷重/ピッチング:7.0N・m●▼許容モーメント荷重/ローリング:7.0N・m●▼モーメント剛性/ピッチング:0.12″/N・cm●▼移動平行度:20μm●▼直角度:30μm●＜個別仕様＞●▼移動量/1回転:0.5mm●▼マイクロメータ最小読取:0.01mm●▼質量:0.6kg●RoHS適合品 | ●アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。●品番末尾にFPがついている製品は、ファインピッチスクリューを使用しています。●一般的なマイクロメータヘッドではありませんので、ご注意ください。●ネジピッチ0.25mmで操作する際には、六角レンチまたは別売のツマミ付六角レンチ(KCL)が必要となります。●※マイクロメータヘッドを固定している部品やマイクロメータヘッドの種類によりステージ上面から突出している場合があります。●※ステージに取り付ける試料の形状により、固定できない場合や移動量が確保できない場合がありますのでご注意ください。●＜＜X軸アルミクロスローラステージ ステージサイズ□80mm＞共通仕様＞●▼テーブル面サイズ:80×80mm●▼移動量:±7.5mm(但しSDM、SWPは±6.5mm)●▼移動ガイド:クロスローラ●▼主要材質:アルミ●▼表面処理:黒アルマイト●▼耐荷重:392N(40.0kgf)●▼移動精度/真直度:2μm●▼移動精度/ピッチング:25″●▼移動精度/ヨーイング:15″●▼許容モーメント荷重/ピッチング:12.3N・m●▼許容モーメント荷重/ローリング:15.7N・m●▼許容モーメント荷重/ヨーイング:14.7N・m●▼モーメント剛性/ピッチング:0.12″/N・cm●▼モーメント剛性/ローリング:0.1″/N・cm●▼モーメント剛性/ヨーイング:-●▼平行度:30μm●▼移動平行度:10μm●＜個別仕様＞●▼マイクロ操作位置:サイド●▼移動量/1回転:粗動:0.25mm 微動:0.005mm●▼マイクロメータ最小読取:粗動:0.005mm 微動:0.0005mm●▼質量:0.6kg●RoHS適合品 | ●アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。●品番末尾にFPがついている製品は、ファインピッチスクリューを使用しています。●一般的なマイクロメータヘッドではありませんので、ご注意ください。●ネジピッチ0.25mmで操作する際には、六角レンチまたは別売のツマミ付六角レンチ(KCL)が必要となります。●※マイクロメータヘッドを固定している部品やマイクロメータヘッドの種類によりステージ上面から突出している場合があります。●※ステージに取り付ける試料の形状により、固定できない場合や移動量が確保できない場合がありますのでご注意ください。●＜＜X軸アルミクロスローラステージ ステージサイズ□80mm＞共通仕様＞●▼テーブル面サイズ:80×80mm●▼移動量:±7.5mm(但しSDM、SWPは±6.5mm)●▼移動ガイド:クロスローラ●▼主要材質:アルミ●▼表面処理:黒アルマイト●▼耐荷重:392N(40.0kgf)●▼移動精度/真直度:2μm●▼移動精度/ピッチング:25″●▼移動精度/ヨーイング:15″●▼許容モーメント荷重/ピッチング:12.3N・m●▼許容モーメント荷重/ローリング:15.7N・m●▼許容モーメント荷重/ヨーイング:14.7N・m●▼モーメント剛性/ピッチング:0.12″/N・cm●▼モーメント剛性/ローリング:0.1″/N・cm●▼モーメント剛性/ヨーイング:-●▼平行度:30μm●▼移動平行度:10μm●＜個別仕様＞●▼マイクロ操作位置:サイド●▼移動量/1回転:0.5mm●▼マイクロメータ最小読取:0.01mm●▼質量:0.6kg●RoHS適合品 | ●ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。●品番末尾にFPがついている製品は、ファインピッチスクリューを使用しています。●一般的なマイクロメータヘッドではありませんので、ご注意ください。●ネジピッチ0.25mmで操作する際には、六角レンチまたは別売のツマミ付六角レンチ(KCL)が必要となります。●※Z軸は構造上、ステージ内のバネが負荷に耐え切れず伸びてしまうおそれがあるため天地逆転の方向で設置し使用することができません。●※Z軸はテコの原理を応用した構造のため、移動量の位置により目盛に対する送り量にズレ(マイクロメータヘッド0.5mm/1回転に対して±0.02mm程度)が生じます。●＜＜XYZ軸フラットスチールステージ ステージサイズ□80mm＞共通仕様＞●▼テーブル面サイズ:80×80mm●▼移動量:XY軸±12.5mm Z軸±5mm●▼移動ガイド:ボールガイド●▼主要材質:鉄●▼表面処理:スーパーブラッククロム+黒つや消し●▼移動精度/真直度:2.5μm●▼許容モーメント荷重/ピッチング:6.9N・m●▼許容モーメント荷重/ローリング:6.9N・m●▼モーメント剛性/ピッチング:0.67″/N・cm●▼モーメント剛性/ローリング:0.67″/N・cm●▼平行度:130μm●＜個別仕様＞●▼マイクロ操作位置:サイド●▼移動量/1回転:0.5mm●▼マイクロメータ最小読取:0.01mm●▼耐荷重:147N(15.0kgf)●▼質量:2.6kg●RoHS適合品 | ●テコの原理を利用して水平方向のマイクロメータ操作を垂直移動に伝達するZ軸ステージです。●ガイドのR溝に対し、スチールボール4点で接触移動するため、あらゆる方向に安定し、精度良く高さ調整を行えます。●上下に移動させるテーブル面は、水平でよりスムーズな移動が得られます。●品番末尾にFPがついている製品は、ファインピッチスクリューを使用しています。●一般的なマイクロメータヘッドではありませんので、ご注意ください。●ネジピッチ0.25mmで操作する際には、六角レンチまたは別売のツマミ付六角レンチ(KCL)が必要となります。●RoHS適合品 | ●テコの原理を利用して水平方向のマイクロメータ操作を垂直移動に伝達するZ軸ステージです。●ガイドのR溝に対し、スチールボール4点で接触移動するため、あらゆる方向に安定し、精度良く高さ調整を行えます。●上下に移動させるテーブル面は、水平でよりスムーズな移動が得られます。●品番末尾にFPがついている製品は、ファインピッチスクリューを使用しています。●一般的なマイクロメータヘッドではありませんので、ご注意ください。●ネジピッチ0.25mmで操作する際には、六角レンチまたは別売のツマミ付六角レンチ(KCL)が必要となります。●RoHS適合品 | ●ステージ本体とZ軸ブラケットを一体化した軽量なZ軸アルミステージをX軸アルミステージに組合せたステージです。●移動ガイドにクロスローラを使用しているため、滑らかな移動が得られます。●送り仕様に、ファインピッチスクリューを使用したタイプもご用意しています。●＜＜XZ軸アルミクロスローラステージ(垂直) ステージサイズ□40mm＞共通仕様＞●▼テーブル面サイズ:80×80mm●▼移動量:X軸±7.5mm Z軸±7.5mm●▼移動ガイド:クロスローラ●▼主要材質:アルミ●▼表面処理:黒アルマイト●▼耐荷重:49N(5.0kgf)●▼移動精度/真直度:2μm●▼許容モーメント荷重/ピッチング:7.0N・m●▼許容モーメント荷重/ヨーイング:7.0N・m●▼モーメント剛性/ピッチング:0.25″/N・cm●＜個別仕様＞●▼マイクロ操作位置:センター●▼移動量/1回転:0.5mm●▼マイクロメータ最小読取:0.01mm●▼耐荷重:49N(5.0kgf)●▼質量:1.2kg●RoHS適合品 | ●ステージ本体とZ軸ブラケットを一体化した軽量なZ軸アルミステージをX軸アルミステージに組合せたステージです。●移動ガイドにクロスローラを使用しているため、滑らかな移動が得られます。●送り仕様に、ファインピッチスクリューを使用したタイプもご用意しています。●＜＜XZ軸アルミクロスローラステージ(垂直) ステージサイズ□40mm＞共通仕様＞●▼テーブル面サイズ:80×80mm●▼移動量:X軸±7.5mm Z軸±7.5mm●▼移動ガイド:クロスローラ●▼主要材質:アルミ●▼表面処理:黒アルマイト●▼耐荷重:49N(5.0kgf)●▼移動精度/真直度:2μm●▼許容モーメント荷重/ピッチング:7.0N・m●▼許容モーメント荷重/ヨーイング:7.0N・m●▼モーメント剛性/ピッチング:0.25″/N・cm●＜個別仕様＞●▼マイクロ操作位置:サイド●▼移動量/1回転:0.25mm●▼マイクロメータ最小読取:-●▼耐荷重:49N(5.0kgf)●▼質量:1.2kg●RoHS適合品 | ●ステージ本体とZ軸ブラケットを一体化した軽量なZ軸アルミステージをX軸アルミステージに組合せたステージです。●移動ガイドにクロスローラを使用しているため、滑らかな移動が得られます。●送り仕様に、ファインピッチスクリューを使用したタイプもご用意しています。●＜＜XZ軸アルミクロスローラステージ(垂直) ステージサイズ□40mm＞共通仕様＞●▼テーブル面サイズ:80×80mm●▼移動量:X軸±7.5mm Z軸±7.5mm●▼移動ガイド:クロスローラ●▼主要材質:アルミ●▼表面処理:黒アルマイト●▼耐荷重:49N(5.0kgf)●▼移動精度/真直度:2μm●▼許容モーメント荷重/ピッチング:7.0N・m●▼許容モーメント荷重/ヨーイング:7.0N・m●▼モーメント剛性/ピッチング:0.25″/N・cm●＜個別仕様＞●▼マイクロ操作位置:センター●▼移動量/1回転:0.25mm●▼マイクロメータ最小読取:-●▼耐荷重:49N(5.0kgf)●▼質量:1.2kg●RoHS適合品 | ●ステージ本体とZ軸ブラケットを一体化した軽量なZ軸アルミステージをX軸アルミステージに組合せたステージです。●移動ガイドにクロスローラを使用しているため、滑らかな移動が得られます。●送り仕様に、ファインピッチスクリューを使用したタイプもご用意しています。●＜＜XZ軸アルミクロスローラステージ(垂直) ステージサイズ□40mm＞共通仕様＞●▼テーブル面サイズ:80×80mm●▼移動量:X軸±7.5mm Z軸±7.5mm●▼移動ガイド:クロスローラ●▼主要材質:アルミ●▼表面処理:黒アルマイト●▼耐荷重:49N(5.0kgf)●▼移動精度/真直度:2μm●▼許容モーメント荷重/ピッチング:7.0N・m●▼許容モーメント荷重/ヨーイング:7.0N・m●▼モーメント剛性/ピッチング:0.25″/N・cm●＜個別仕様＞●▼マイクロ操作位置:サイド●▼移動量/1回転:0.5mm●▼マイクロメータ最小読取:0.01mm●▼耐荷重:49N(5.0kgf)●▼質量:1.2kg●RoHS適合品 | ●クロスローラガイドのXY軸ステージと垂直タイプのZ軸ステージを組合せたステージです。●送り仕様に、ファインピッチスクリューを使用したタイプもご用意しています。●＜＜XYZ軸アルミクロスローラステージ(垂直) ステージサイズ□40mm＞共通仕様＞●▼テーブル面サイズ:60×60mm●▼移動量:XY軸±6.5mm Z軸±6.5mm●▼移動ガイド:クロスローラ●▼主要材質:アルミ●▼表面処理:黒アルマイト●▼耐荷重:49N(5.0kgf)●▼移動精度/真直度:2μm●▼許容モーメント荷重/ピッチング:5.0N・m●▼許容モーメント荷重/ヨーイング:5.0N・m●▼モーメント剛性/ピッチング:0.9″/N・cm●▼テーブル面サイズ:65×65mm●▼移動量:XY軸±6.5mm Z軸±6.5mm●▼移動ガイド:クロスローラ●▼主要材質:アルミ●▼表面処理:黒アルマイト●▼耐荷重:49N(5.0kgf)●▼移動精度/真直度:2μm●▼許容モーメント荷重/ピッチング:5.0N・m●▼許容モーメント荷重/ヨーイング:5.0N・m●▼モーメント剛性/ピッチング:0.9″/N・cm●▼テーブル面サイズ:80×80mm●▼移動量:XY軸±7.5mm Z軸±6.5mm●▼移動ガイド:クロスローラ●▼主要材質:アルミ●▼表面処理:黒アルマイト●▼耐荷重:49N(5.0kgf)●▼移動精度/真直度:2μm●▼許容モーメント荷重/ピッチング:7.0N・m●▼許容モーメント荷重/ヨーイング:7.0N・m●▼モーメント剛性/ピッチング:0.35″/N・cm●＜個別仕様＞●▼マイクロ操作位置:サイド●▼移動量/1回転:0.25mm●▼マイクロメータ最小読取:-●▼耐荷重:49N(5.0kgf)●▼質量:0.9kg●RoHS適合品 | ●クロスローラガイドのXY軸ステージと垂直タイプのZ軸ステージを組合せたステージです。●送り仕様に、ファインピッチスクリューを使用したタイプもご用意しています。●＜＜XYZ軸アルミクロスローラステージ(垂直) ステージサイズ□40mm＞共通仕様＞●▼テーブル面サイズ:60×60mm●▼移動量:XY軸±6.5mm Z軸±6.5mm●▼移動ガイド:クロスローラ●▼主要材質:アルミ●▼表面処理:黒アルマイト●▼耐荷重:49N(5.0kgf)●▼移動精度/真直度:2μm●▼許容モーメント荷重/ピッチング:5.0N・m●▼許容モーメント荷重/ヨーイング:5.0N・m●▼モーメント剛性/ピッチング:0.9″/N・cm●▼テーブル面サイズ:65×65mm●▼移動量:XY軸±6.5mm Z軸±6.5mm●▼移動ガイド:クロスローラ●▼主要材質:アルミ●▼表面処理:黒アルマイト●▼耐荷重:49N(5.0kgf)●▼移動精度/真直度:2μm●▼許容モーメント荷重/ピッチング:5.0N・m●▼許容モーメント荷重/ヨーイング:5.0N・m●▼モーメント剛性/ピッチング:0.9″/N・cm●▼テーブル面サイズ:80×80mm●▼移動量:XY軸±7.5mm Z軸±6.5mm●▼移動ガイド:クロスローラ●▼主要材質:アルミ●▼表面処理:黒アルマイト●▼耐荷重:49N(5.0kgf)●▼移動精度/真直度:2μm●▼許容モーメント荷重/ピッチング:7.0N・m●▼許容モーメント荷重/ヨーイング:7.0N・m●▼モーメント剛性/ピッチング:0.35″/N・cm●＜個別仕様＞●▼マイクロ操作位置:サイド●▼移動量/1回転:0.5mm●▼マイクロメータ最小読取:0.01mm●▼耐荷重:49N(5.0kgf)●▼質量:0.9kg●RoHS適合品 | ●クロスローラガイドのXY軸ステージと垂直タイプのZ軸ステージを組合せたステージです。●送り仕様に、ファインピッチスクリューを使用したタイプもご用意しています。●＜＜XYZ軸アルミクロスローラステージ(垂直) ステージサイズ□40mm＞共通仕様＞●▼テーブル面サイズ:40×40mm●▼移動量:XY軸±6.5mm Z軸±6.5mm●▼移動ガイド:クロスローラ●▼主要材質:アルミ●▼表面処理:黒アルマイト●▼耐荷重:49N(5.0kgf)●▼移動精度/真直度:2μm●▼許容モーメント荷重/ピッチング:2.75N・m●▼許容モーメント荷重/ヨーイング:3.0N・m●▼モーメント剛性/ピッチング:1.9″/N・cm●▼テーブル面サイズ:60×60mm●▼移動量:XY軸±6.5mm Z軸±6.5mm●▼移動ガイド:クロスローラ●▼主要材質:アルミ●▼表面処理:黒アルマイト●▼耐荷重:49N(5.0kgf)●▼移動精度/真直度:2μm●▼許容モーメント荷重/ピッチング:5.0N・m●▼許容モーメント荷重/ヨーイング:5.0N・m●▼モーメント剛性/ピッチング:0.9″/N・cm●▼テーブル面サイズ:65×65mm●▼移動量:XY軸±6.5mm Z軸±6.5mm●▼移動ガイド:クロスローラ●▼主要材質:アルミ●▼表面処理:黒アルマイト●▼耐荷重:49N(5.0kgf)●▼移動精度/真直度:2μm●▼許容モーメント荷重/ピッチング:5.0N・m●▼許容モーメント荷重/ヨーイング:5.0N・m●▼モーメント剛性/ピッチング:0.9″/N・cm●▼テーブル面サイズ:80×80mm●▼移動量:XY軸±7.5mm Z軸±6.5mm●▼移動ガイド:クロスローラ●▼主要材質:アルミ●▼表面処理:黒アルマイト●▼耐荷重:49N(5.0kgf)●▼移動精度/真直度:2μm●▼許容モーメント荷重/ピッチング:7.0N・m●▼許容モーメント荷重/ヨーイング:7.0N・m●▼モーメント剛性/ピッチング:0.35″/N・cm●＜個別仕様＞●▼マイクロ操作位置:サイド●▼移動量/1回転:0.5mm●▼マイクロメータ最小読取:0.01mm●▼耐荷重:49N(5.0kgf)●▼質量:0.4kg●RoHS適合品 | ●真空環境に対応したリミットセンサを搭載した自動ステージです。●直動系は35～200mmのロングストロークを実現し、従来のSGSPシリーズと同様でコンパクト化を実現しました。●モータケーブルとセンサケーブルは、バラ線1mとなっています。●＜＜真空仕様自動ステージ ＞共通仕様＞●▼モータタイプ:真空仕様5相ステッピングモータ 0.75A/相(オリエンタルモーター(株))●▼モータ品番:A7298-90215KV(□28mm)●▼モータステップ角度:0.72°●▼センサ電源電圧:DC5～24V±10％●▼センサ消費電力:10mA(Max 20mA)●▼センサ制御出力:メカニカル●▼センサ出力論理:NORMAL CLOSE●▼適応ドライバ:SG-5M、SG-55M、SG-514MSC、MC-7514PCL●▼適応コントローラ:GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04●＜個別仕様＞●▼移動量:200mm●▼テーブル面サイズ:80×80mm●▼送りネジ:精密研削ネジφ8mm、 リード2mm●▼移動ガイド:アウターレール構造●▼ステージ材質:アルミ・ステンレス●▼表面処理:無●▼質量:2.5kg●▼分解能/(Full):4μm/パルス●▼分解能(Half):2μm/パルス●▼MAXスピード:20mm/sec●▼繰り返し位置決め精度:10μm●▼耐荷重:58.8N(6.0kgf)●▼ロストモーション:10μm●▼センサ品番:GN-PT5M3B-1(株式会社メトロール)●▼リミットセンサ:真空タッチセンサ(NORMAL CLOSE)●▼原点センサ:無●▼近接原点センサ:無 |
| ステージ面サイズ | 80×80mm | 80×80mm | 80×80mm | 80×80mm | 80×80mm | 80×80mm | 80×80mm | 80×80mm | 80×80mm | 80×80mm | 80×80mm | 80×80mm | 80×80mm | 80×80mm | 80×80mm | 80×80mm | 60×60mm、65×65mm、80×80mm | 60×60mm、65×65mm、80×80mm | 40×40mm、60×60mm、65×65mm、80×80mm | 80×80mm |
| ステージタイプ | 直動ステージ | 直動ステージ | 直動ステージ | 直動ステージ | 直動ステージ | 直動ステージ | 直動ステージ | 自動ステージ | ||||||||||||
| マイクロメータ最小読取 | 0.01mm | 0.01mm | 0.01mm | 0.01mm | 0.01mm | 0.01mm | 0.01mm | 0.01mm | ||||||||||||
| 質量 | 1.2Kg | 1.2Kg | ||||||||||||||||||
| 耐荷重 | 39.2N(4.0Kgf) | 147N(15.0Kgf) | ||||||||||||||||||
| 移動ガイド | ボールガイド | ボールガイド | ||||||||||||||||||
| 移動量/1回転 | 0.25mm | 0.5mm | ||||||||||||||||||
| 移動平行度 | 20μm | 20μm | ||||||||||||||||||
| 表面処理 | スーパーブラッククロム | スーパーブラッククロム |
