微小・精密ワークに幅広く対応　100～180Hzの高い振動数と0.6mmの小さい振幅で、10mm以下の微小・精密ワークや薄物に最適なシリーズです。ボウル径は150～700mmに対応し、信頼性の高いワーク搬送を実現します。コントローラ・ボウルは別売りです。