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    小型ハンディ質量流量 制御ユニット FLOW COMPO(TM) 3200MFC

    ●F.S.1SCCMの微小流量に対応したハイグレードマスフローコントローラとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量制御ユニットです。●タッチパネル式でフルスケール設定、流量設定、バルブ開閉など簡単操作可能です。●AIR用※別途ご用命があれば他の流体(Ar、CO2、H2、He、N2、O2等)でも製作可能

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    接ガス部材質 SUS316L、FKM他 センサー方式 熱式センサー
    電源 AC85~264V 48~440Hz
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