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NOK フォンブリングリース 高真空用グレード
半導体製造装置を始め、各種真空機器に長年にわたり使用されて来た実績を誇る低蒸気圧、低蒸発損失のグレード。耐摩耗性が要求される半導体製造装置の駆動部に使用されて高い評価を得ているグレードです。又、真空のシール用としても実績があります。【用途例】半導体製造装置、各種真空機器、高真空・クリーンルーム内で使用される各種装置
¥25,082 (税込)
使用温度範囲目安 | -20/250℃ | 2.1g/cm^3 | 色白 |
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内容量(g) | 100 | 基油粘度指数 | 135 |
蒸気圧(20℃) | 6.4×10^-11Pa | 増ちょう剤 | PTFE |
基油動粘度,20℃ | 1400cSt | 蒸気圧(100℃) | 5.6×10^-6Pa |
蒸発損失,204℃ | 0.3(22時間W%) | 四球極圧試験(溶着荷重) | 794Kg/cm^2 |
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