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中央精機 マイクロスキャニングステージ MSS-150C
【仕様】 移動方向:XY軸2方向 移動量(mm):XY軸±75 ステージ面(mm):280X230 使用モータ:PK523HPA(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相) 分解能(mm):0.002 送りねじ仕様:ボールねじ 送りねじリード(mm):1 移動ガイド:V溝とクロスローラ 移動精度(mm):真直度0.01(水平)、0.015(垂直) 位置決め精度(1/10ストローク)(mm):X軸0.01、Y軸0.01 位置決め精度(フルストローク):X軸0.03、Y軸0.03 繰り返
¥1,191,850 (税込)
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